Микрофоны MEMS обычно состоят из микроемкостных датчиков MEMS, микроинтегральных схем преобразования, акустических камер и схем защиты от радиочастотных помех. Микроемкостная головка MEMS включает в себя кремниевую диафрагму и кремниевый задний электрод для приема звука. Кремниевая диафрагма может напрямую принимать аудиосигнал и передавать его в микроинтегральную схему через микроемкостный датчик MEMS. Микроинтегральная схема преобразует высокоомный аудиоэлектрический сигнал и усиливает его в низкоомный электрический сигнал, одновременно фильтруемый схемой защиты от радиочастотных помех, и выводит электрический сигнал, который соответствует предварительной схеме, «акустоэлектрическое» преобразование завершается. Благодаря считыванию электрических сигналов реализуется распознавание звука.
Время публикации: 06.12.2022